電感耦合等離子體質譜儀(ICP-MS)是測定超痕量元素和同位素比值的儀器。由等離子發生器，霧化室，炬管，四極質譜儀和一個快速通道子倍增管組成。

　　在ICP-MS中，ICP起到離子源的作用，ICP利用在電感線圈上施加的強大功率的射頻信號，在線圈包圍區域形成高溫等離子體，并通過氣體的推動，保證了等離子體的平衡和持續電離。被分析物由蠕動泵送入霧化器形成氣溶膠，再由載氣(Ar)帶入等離子體(ICP)炬焰中，發生蒸發、分解、激發和電離，形成離子流，通過接口進入真空系統，在離子鏡中，負離子、中性粒子以及光子被攔截，僅有帶電的正離子通過，并且達到聚焦的效果。在分析器中，電感耦合等離子體質譜儀通過改變分析器參數的設置，選擇不同質荷比的離子通過并到達檢測器中，進而檢測器對離子個數進行計數，得到某個離子的強度，而離子強度與被分析元素的濃度成正比，從而計算出該元素的含量。

　　該產品廣泛應用于化學、化工、環境、生物、食品、地礦、衛生、電子、材料、機械、等領域痕量和微量元素的含量測定。